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天井にある各吹出口から、HEPAフィルターを通した清浄空気を吹出し、壁面下方の吸込口から室内空気を循環させる方式です。最も一般的な方式で、設置コストも安く、現在では主流となっています。 | 天井前面にHEPAフィルターを設置し、垂直下方に清浄空気を吹出し床全体で吸込み、室内空気を循環させる方式です。発塵した物質はすぐに床面に吸込まれるため、室内のどの場所でも安定して極めて高い清浄度が得られます。ただし設置コスト・ランニングコストともに高いのが難点です。 | |
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片壁面全体にHEPAフィルターを設置し、反対壁面へ水平一方向に清浄空気を循環させる方式です。上流付近では極めて高い清浄度を得られますが、上流と下流との間では清浄度の分布にむらが生じます。また設置コスト・ランニングコストとも高くなります。 | クリーンルーム内にクリーンブースを設置する方式です。クリーンルーム内の一部の清浄度をさらに高くする場合に使用します。設置コストも低く、メンテナンス性にも優れており、近年非常に多く用いられる方式です。 | |
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